TFX4000i/TFX4000i UT+

新一代的薄膜厚度测量设备,应用范围覆盖集成电路制造前后段,适用于40/28/14/7/5nm 前后道,10nm级DRAM,3D NAND等制造生产线,为客户提供更全面的工艺支持。


该系列产品继承了公司二代产品TFX3000P的全部优越性能,在功能上更加丰富、完善,应用上更加广泛。

搭载了SWE功能,可实现针对如Gate Oxide等超薄膜更精确快速的测量。